布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达 5Å。

第十代 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

DektakXT 技术参数 台阶高度重复性 5Å——单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性——先进的“智能化电子器件”实现了低噪声的新 标准 — 新的硬件配置使数据采集能力提高了 40%——64 位的 Vision64 同步数据处理软件，将数 据分析速度提高十倍。 功能卓越，操作简易——直观的 Vision64 用户界面操作流程简便易行——自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行， 物超所值——独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量

技术指标

1. 样品 X/Y 载物台:  手动 X/Y（4 英寸）：100mm*100 mm,可手动校平   马达 X/Y（6 英寸）：150mm*150mm, 可手动校平

2. 扫描长度范围: 55mm (2 英寸) 

3. 单次扫描数据采集点: 最大 120,000 

4. 最大样品厚度: 50mm (2 英寸)

5. 最大晶片尺寸: 200mm (8 英寸)

6. 台阶高度重复性 < 5Å, 

7. 测量 1 μm 台阶高度标准偏差: 垂直方向扫描范围 1mm (0.039 英寸)    

8. 垂直方向分辨率: 最高分辨率可达 1Å (在 6.55 μm 测量范围内)