布鲁克的三维光学轮廓仪采用多项专利技术，保证了设备的稳定性和结果的准确度和可重复性。软件提供了丰富的分析工具包和全面的分析模块，帮助客户获得表面大量有价值的信息。最大限度排除人为干扰。这些自动化分析模块能最大限度排除人为干扰，获得可信赖的结果。

• contour三维光学轮廓仪作为计量设备， 对高度的测量极其精确。

• 通过测试VLSI可溯源标准台阶样品， 可以验证设备的测试结果准确性。 

• 不论是三维结果还是从中提取的二维轮廓线，都与标准值一致，偏差小于 0.1%。

• 对于高度计算，软件提供了自动计算功能，最大限度排除人为误差。

• 样品无需特殊处理。 

• 从开始测试到获得最终测试结果时间短。

• 自动化测试多个区域，多个样品。

• 具有数据库功能，对结果进行统计分析，并筛选出不满足要求的数据。