⼿动紧凑型磁控溅射系统 

 • 实用经济型，占地面积小，实验室节省空间 

• 最多3个磁控溅射靶枪 

 • 样品台：最⼤可达6英⼨ 

 • 样品台加热，旋转／偏压／⾃清洗均可选 

 • 按钮操作设计，⽅便⽤户操作 

 • 2路⼯艺⽓路，可根据⽤户需求定制 

 • 设备互锁，安全保护

⼿动机台并⾮全⼿动 

 • 靶枪升降倾斜⻆度可调整 

• 腔体内部完整防镀内衬板 

 • 靶枪独⽴供⽓环设计 

 • 靶枪⽓动挡板 

 • ⼯艺⽓体启动阀⻔控制 

 • 靶枪⼯作按钮控制，操作简单