双腔体超导薄膜磁控溅射 

• 样品尺⼨：4 英⼨ 

• ⾦属氧化物分离，避免污染 

• 超⾼真空，⾼真空磁控溅射结合 

• 多⼯能样品台定制 

• 反应⽓体⼯艺优化设计 

• 超⾼薄膜均匀性