CLUSTER多腔镀膜系统

有机发光⼆极管(OLED)技术作为⼀种新兴显示技术，具有器件轻薄、可视⻆度⼤、柔性显示、节省电能等优势，已⼴泛应⽤于各个领域。矽碁科技具有丰富的OLED系统集成经验，可根据客户需求，集成各类⼯艺腔体，为客户量身打 造OLED技术开发设备。 

矽碁提供两种OLED设备架构

Cluster架构: 中央传输腔体连接各⼯艺腔体，机械⼿臂传⽚，全⾃动控制，可连续⽣产 

 In-line架构: ⼿套箱串接各⼯艺腔体，⼿动传⽚，架构灵活，拓展性强，性价⽐⾼。  此外，矽碁科技还与台湾多家先进的OLED研究机构建有合作实验室(明志科技⼤学，曜凌光电)，⻓期从事OLED技术研发和技术更新，可与客户进⾏深度的OLED技术交流及合作。 

可选配置

 ‣ 预处理腔体

 ‣ 中央传输腔体

 ‣ 有机物蒸发镀膜腔体

 ‣ ⾦属蒸发镀膜腔体

 ‣ 磁控溅射腔体

 ‣ 原⼦层沉积封装腔体

 ‣ ⾼分⼦封装镀膜腔体

 ‣ Mask/基⽚存储腔体

 ‣ 机械/CCD对准机构

 ‣ ⼿套箱集成