设备可以用于金属材料、陶瓷材料、聚合物材料、无机非金属材料、膜材料及复合材 料等的纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损等力学特性测试及样品表面形貌的扫描。 

主要功能：可以测试材料微观尺度硬度、模量、硬度和模量随深度变化曲线、薄膜和基 底结合力、表面形貌扫描、10nm定位精度、存储和损耗模量、硬度和模量mapping图等。 

特点：测试精度高，噪音背景小； 可以进行快速压痕测试，每秒钟测试6个点。 测试的定位精度±10 nm

应用领域

• Ceramics 陶瓷 • Protective coatings, ceramic composites, tribofilms 

• Metals 金属 • Individual grains, metal films, recording media 

• Polymers 高分子 • Low-k materials, polymer coatings, elastomers

• Biological/Biomaterials 生物材料 • Bones/teeth, tissue, implantable devices

• MEMS Devices 微器件 • Actuation force, stiffness, deflection range